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アプリケーション

半導体&太陽電池

半導体や太陽電池の研究開発においては、通常基板上にデバイスが構築されます。デバイスに対して高度な品質と信頼性が要求され、デバイス構造の結晶特性と内部応力に対して詳細なデータを得ることが重要となっています。WITecの装置は、化学特性、物理特性を総合的に分析することができます。

WITec装置は幅広い用途に使用でき、様々な観察手法が可能で観察結果から多くの試料に対する情報を得ることができます。顕微鏡システムとして可能な組み合わせは、共焦点ラマン顕微鏡、原子間力顕微鏡(AFM)、近接場光学顕微鏡(SNOM)、電子顕微鏡(SEM)があります。共焦点ラマン顕微鏡は化学情報を、AFMは表面形状/構造、硬さ/吸着力などの物理特性を、SNOMは光学回折限界を超える高分解能光学像を得ることができます。すべてのWITec装置はお客様のご要望に応じて機能をアップグレードすることができます。


アプリケーション例

低温成長GaAs(LT GaAs)のRISE(SEMラマン)像. ラマン像は,SEM像に重ね合わせ表示. ラマン像: 黄: 金基板; 赤: GaAs. 50 x 50 µm², 300 x 300 画素 = 90,000 スペクトラム, 積算時間34 ms/スペクトラム
シリコン太陽電池のレーザードリル加工穴付近の応力マップ
GaN層のSEMラマン像 上: SEM像; 中央:2次元共焦点ラマンイメージ; 下: 3次元共焦点ラマンイメージ
ICのAFM表面形状像
同一ウェハ試料上の別視野でのAFM像(上)とラマン像(下)

アプリケーションノート

アプリケーションノート 半導体材料

アプリケーションノート III族窒化物半導体と3Dラマン

アプリケーションノート 太陽電池

アプリケーションノート 時間分解PL測定


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お客様の研究におけるラマンイメージングの可能性についてご興味がある方は、ぜひオックスフォード・インストゥルメンツのWITecまでお問い合わせください。当社のスペシャリストが対応します。

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