スキャンステージ

試料や観察目的に応じて、マニュアル、モーター駆動、ピエゾステージを幅広く選択できます。

取り付け可能ステージ

• マニュアルステージ：精密な位置合わせが可能です。
• モータ駆動ステージ：広領域での設置、マッピング、イメージングに有用。
• ピエゾ駆動ステージ：クローズループ方式でのオペレーション。

各ステージは走査範囲を柔軟に選択できます。

 

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